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1
Oberflächen- und Dünnschicht-Technologie: Teil II: Oberflächenmodifikation durch Teilchen und Quanten
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Dr. René A. Haefer (auth.)
abb
verfahren
laser
z.b
plasma
schichten
schicht
abschn
urn
anwendungen
phys
fiir
substrat
implantation
herstellung
elektronen
ionen
ionenimplantation
methoden
si0
bereich
cvd
anwendung
bzw
sowie
berlin
i.c
modifizierung
eigenschaften
atzen
temperatur
iiber
d.h
elektronenstrahl
sci
chemische
daher
laserstrahl
silicium
erzeugt
springer
poly
reaktionen
betragt
lonen
gegeniiber
ionenstrahl
lithographie
proc
appl
Année:
1991
Langue:
german
Fichier:
PDF, 19.55 MB
Vos balises:
0
/
0
german, 1991
2
Erzeugung von Atom- und Ionenstrahlen
Vieweg+Teubner Verlag
Dr. Hans Bomke (auth.)
ionen
abb
mittels
erzeugung
kathode
atomstrahlen
teilchen
ionenstrahlen
spannungen
anordnung
durchmesser
verwendung
elektrischen
elektroden
untersuchungen
beträgt
gasdruck
verfahren
ergibt
geschwindigkeit
spannung
hohen
benutzt
magnetischen
verwendet
wobei
verschiedenen
beispielsweise
besteht
intensität
naturgemäß
atome
ferner
sowie
stark
welches
daher
kanal
kanalstrahlen
praktisch
temperatur
strahlen
druck
elektronen
magnetfeld
anode
auffänger
erzeugt
ionenstrahl
strahl
Année:
1939
Langue:
german
Fichier:
PDF, 6.01 MB
Vos balises:
0
/
0
german, 1939
3
Wissenschaftliche Veröffentlichungen aus den Siemens-Werken: XVII. Band. Drittes Heft
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Andreas V. Timascheff (auth.)
bild
ionen
kathode
elektronen
blende
spannung
messungen
anode
zeigt
ergibt
kanal
bzw
kurve
abhängigkeit
entladung
entladungsrohr
einfluß
ionenemission
werte
schwingungen
läßt
erhalten
kurven
größe
linie
positiven
siemens
wert
erregermaschine
anfangsgeschwindigkeit
kupfer
strom
dadurch
elektroden
geschwindigkeit
gleichung
parabel
wobei
dagegen
temperatur
öl
ergebnisse
kanalstrahlentladung
nämlich
berechnung
daher
erreicht
gasdruck
kathodenionenrauschen
liegen
Année:
1938
Langue:
german
Fichier:
PDF, 5.04 MB
Vos balises:
0
/
0
german, 1938
4
Über die Lichtanregung durch homogene Korpuskularstrahlen von niederer Geschwindigkeit
Springer Berlin Heidelberg
Friedrich Engelmann (auth.)
anregung
fiir
stob
strahl
helium
lichtanregung
wasserstoff
atome
ionen
geladenen
spannungen
strahles
aueh
kanalstrahlen
protonen
bogenraum
dopel
engelmann
linien
balmer
druck
dureh
homogene
spannung
teilchen
beobachtungsraum
beschleunigungsrohr
heliumanregung
moglich
mubte
untersucht
voit
apparatur
bereich
bogendruck
kotecki
massey
neutrale
neutraler
phys
starke
thermoelement
uber
usw
ablenkung
angeregt
einsatzspannung
magnetische
messungen
neutralen
Année:
1939
Langue:
german
Fichier:
PDF, 1.08 MB
Vos balises:
0
/
0
german, 1939
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